Detector de Vazamento Inficon
Categoria pertencente： Detector de fugas espectrómetro de massa de hélio
Parâmetros técnicos
mínimo taxa de detecção de vazamento | modo de detecção ultra precisa | 5×10-12mbar·L/s |
modo de detecção precisa | 1×10-11mbar·L/s | |
modo de detecção grosseira | 1×10-9mbar·L/s | |
modo de sucção | 1×10-7mbar·L/s | |
tempo de resposta | <1seg | |
sensor de gás | seletor de massa com desvio magnético de 180° | |
tempo de inicialização | <3min | |
tensão de alimentação/interface | compatível com SPS (máx. 35V) | |
Palavras-chave:
Espectrômetro de massa de hélio para detecção de vazamentos
de
modo
mbar
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