Detector de Vazamento PFEIFFER
Categoria pertencente： Detector de fugas espectrómetro de massa de hélio
Parâmetros técnicos
Taxa mínima de detecção de vazamento (modo de vácuo) | 5X10-13Pa.m³/s |
Taxa mínima de detecção de vazamento (modo de sucção) | 5X10-10Pa.m³/s |
Gás de detecção | 4He,3He,H2 |
Tempo de inicialização | 3min |
Velocidade de bombeamento para gás hélio | 2.5L/S |
Pressão da entrada de gás | 25hPa |
Velocidade de bombeamento da bomba de estágio anterior | Bomba de óleo 15m³/h |
Palavras-chave:
Espectrômetro de massa de hélio para detecção de vazamentos
de
detec
taxa
vazamento
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